超精密长行程三轴平台

设备信息 FEATURES

设备参数 PARAMETER

技术指标 数据
行程(mm) X轴:200 Y轴:100
最大负载(kg) X轴:30 Y轴:20
定位精度(um) X轴:±0.35 Y轴:±0.35
双向重复定位精度(um) X轴:±0.2 Y轴:±0.2
直线度(um) X轴:±2.5 Y轴:±2
平面度(um) X轴:±2.5 Y轴:±2
正交性(arc sec) X轴:10 Y轴:10
最大速度(mm/s) X轴:50 Y轴:50