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超精密三轴平台

设备信息 FEATURES

设备参数 PARAMETER

技术指标 数据
行程(mm) X轴:200 Y轴：100
最大负载（kg） X轴:30 Y轴：20
定位精度(um) X轴:±0.35 Y轴：±0.35
双向重复定位精度(um) X轴:±0.2 Y轴：±0.2
直线度(um) X轴:±2.5 Y轴：±2
平面度(um) X轴:±2.5 Y轴：±2
正交性(arc sec) X轴:10 Y轴：10
最大速度(mm/s) X轴:50 Y轴：50

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