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高精度单轴模组

设备信息 FEATURES

设备参数 PARAMETER

技术指标 数据
宽度（mm） ≥220
有效行程（mm） ≥200
最大速度（mm/s） 1000
重复精度（μm） ±2
定位精度（μm） ±4
平面度 ±3μm@300mm
直线度 ±2μm@300mm
驱动方式 直线电机+高精度导轨
防尘方式 半封闭/全封闭

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