高精度单轴模组

设备信息 FEATURES

设备参数 PARAMETER

技术指标 数据
宽度(mm) ≥220
有效行程(mm) ≥200
最大速度(mm/s) 1000
重复精度(μm) ±2
定位精度(μm) ±4
平面度 ±3μm@300mm
直线度 ±2μm@300mm
驱动方式 直线电机+高精度导轨
防尘方式 半封闭/全封闭