高精度气浮单轴模组2

设备信息 FEATURES

设备参数 PARAMETER

技术指标 数据
负载(Kg) 30
最大速度(mm/s) 700
最大加速度(G) 1
有效行程(mm) 500
重复精度(μm) ±1
定位精度(μm) ±2
平面度(μm) ±0.75
直线度(μm) ±0.5
驱动方式 直线电机
反馈方式 光栅尺
防尘方式 上盖板(可选)