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高精度气浮单轴模组1

设备信息 FEATURES

设备参数 PARAMETER

技术指标 数据
负载（Kg） 30
最大速度（mm/s） 700
最大加速度（G） 1
有效行程（mm） 500
重复精度（μm） ±1
定位精度（μm） ±2
平面度（μm） ±1
直线度（μm） ±0.75
驱动方式 直线电机
反馈方式 光栅尺
防尘方式 上盖板

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