高几何精度大理石XY平台

设备信息 FEATURES

设备参数 PARAMETER

技术指标 数据
负载(Kg) X轴:30 Y轴:X轴自重+30
最大速度(mm/s) X轴:1000 Y轴:300
最大加速度(G) X轴:2.5 Y轴:1
有效行程(mm) X轴:340 Y轴:430
重复精度(μm) X轴:±1 Y轴:±1
定位精度(μm) X轴:±2 Y轴:±2
平面度(μm) X轴:±1.5 Y轴:±1.5
直线度(μm) X轴:±1.5 Y轴:±1.5
驱动方式 X轴:直线电机 Y轴:直线电机
反馈方式 X轴:光栅尺 Y轴:光栅尺
防尘方式 X轴:3上盖板 Y轴:侧防尘带+上盖板