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超高精度XY平台

设备信息 FEATURES

设备参数 PARAMETER

技术指标 数据
负载（Kg） X轴：30 Y轴：X轴自重+30
最大速度（mm/s） X轴：1000 Y轴：500
最大加速度（G） X轴：1 Y轴：1
有效行程（mm） X轴：600 Y轴：200
重复精度（μm） X轴：±0.2 Y轴：±0.15
定位精度（μm） X轴：±0.3 Y轴：±0.25
平面度（μm） X轴：±1.8 Y轴：±0.6
直线度（μm） X轴：±0.65 Y轴：±0.5
驱动方式 X轴：直线电机 Y轴：直线电机
反馈方式 X轴：光栅尺 Y轴：光栅尺
防尘方式 X轴：上盖板 Y轴：侧防尘带+上盖板

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