超高精度气浮龙门平台

设备信息 FEATURES

设备参数 PARAMETER

技术指标 数据
负载(Kg) X轴:20 Y轴:X轴自重+20
最大速度(mm/s) X轴:800 Y轴:500
最大加速度(G) X轴:0.7 Y轴:0.8
有效行程(mm) X轴:500 Y轴:750
重复精度(μm) X轴:±0.5 Y轴:±0.5
定位精度(μm) X轴:±1 Y轴:±1
平面度(μm) X轴:±0.75 Y轴:±0.75
直线度(μm) X轴:±0.5 Y轴:±0.5
驱动方式 X轴:直线电机 Y轴:直线电机
反馈方式 X轴:光栅尺 Y轴:光栅尺
防尘方式 X轴:上盖板 Y轴:无