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超高精度气浮龙门平台
设备信息 FEATURES
设备参数 PARAMETER
技术指标 | 数据 |
负载(Kg) | X轴:20 Y轴:X轴自重+20 |
最大速度(mm/s) | X轴:800 Y轴:500 |
最大加速度(G) | X轴:0.7 Y轴:0.8 |
有效行程(mm) | X轴:500 Y轴:750 |
重复精度(μm) | X轴:±0.5 Y轴:±0.5 |
定位精度(μm) | X轴:±1 Y轴:±1 |
平面度(μm) | X轴:±0.75 Y轴:±0.75 |
直线度(μm) | X轴:±0.5 Y轴:±0.5 |
驱动方式 | X轴:直线电机 Y轴:直线电机 |
反馈方式 | X轴:光栅尺 Y轴:光栅尺 |
防尘方式 | X轴:上盖板 Y轴:无 |